sio2是什么元素?sio2薄膜有什么用途?

近期有些网友想要了解sio2是什么元素的相关情况,小编通过整理给您分析,同时介绍一下sio2薄膜有什么用途?有关信息。氧化硅薄膜整个半导体制造过程是十分常见且不可或缺的,麻烦说说它有什么用途?氧化硅的物化性质?...

近期有些网友想要了解sio2是什么元素的相关情况,小编通过整理给您分析,同时介绍一下sio2薄膜有什么用途?有关信息。

氧化硅薄膜整个半导体制造过程是十分常见且不可或缺的,麻烦说说它有什么用途?

sio2是什么元素?sio2薄膜有什么用途?-图1

氧化硅的物化性质?

氧化硅(SiO2)在自然界中通常以石英晶体的形式存在,而在半导体制造工序CVD或PVD中则以非晶的形式存在。硬度高,熔点高,化学稳定性极好,几乎不与其他化学品发生反应,绝缘性能好,热膨胀系数低等。

氧化硅薄膜在半导体制造中的应用?

1、用作刻蚀,扩散,离子注入时的掩膜层;作为刻蚀掩膜,氧化硅具有很高的选择性,且不与化学药水及气体发生反应;作为扩散与离子注入掩膜,阻止掺杂物质如硼、磷等扩散到硅片的其他区域,这样可以精确控制掺杂区域的边界;

2、用作绝缘介质(隔离、绝缘栅、多层布线绝缘、电容介质等);作为隔离层,有助于减少各部分间的串扰;作为栅氧化层,能够有效控制栅极电压以对通道的载流子进行调控,从而控制流过晶体管的电流;作为介电层,用于隔离不同层之间的金属层,这样可以防止电流泄露和短路。

3、用作表面保护及钝化。氧化硅薄膜可以用作保护层,覆盖在敏感材料表面,以保护它们免受外湿气、污染物和化学腐蚀。作为钝化层,以改善半导体表面的化学和电学性质。它能有效地阻止表面原子的活跃性,减少表面缺陷,从而提高器件的电学性能。


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